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《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。
《微细加工技术》杂志现已停刊,具体复刊时间以杂志社消息为准。
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学者姓名 | 发文量 | 主要研究主题 |
蔡炳初 | 31 | 心微机电系统;MEMS;微驱动器;微机械;形状记忆合金 |
赵小林 | 27 | 心微机电系统;MEMS;微机械;电磁驱动;射频 |
丁桂甫 | 21 | 心微机电系统;MEMS;双稳态;碳纳米管;微结构 |
顾文琪 | 18 | 心电子束曝光机;聚焦离子束;电子束曝光;液态金属离子源;图形发生器 |
张玉林 | 17 | 心电子束;微机电系统;电子束光刻;抗蚀剂;电子束曝光 |
姚汉民 | 15 | 心光刻;光子晶体;投影光刻物镜;光刻技术;光刻机 |
杨春生 | 15 | 心MEMS;微机电系统;电极;PARYLENE;压电 |
陈宝钦 | 15 | 心电子束光刻;电子束曝光;电子束;电子束直写;抗蚀剂 |
冯伯儒 | 15 | 心光刻;相移掩模;干涉光刻;光刻技术;光刻系统 |
徐东 | 15 | 心碳纳米管;形状记忆合金;微驱动器;MEMS;微泵 |
机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
上海交通大学 | 126 | MEMS;微机电系统;机电系统;电系统;刻蚀 |
中国科学院 | 71 | 光刻;光刻机;投影光刻;掩模;投影光刻机 |
中国科学院电工研究所 | 65 | 电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;光刻;图形发生器 |
清华大学 | 61 | 微细;微细加工;离子束;聚焦离子束;光刻 |
中国科学技术大学 | 48 | 刻蚀;衍射;离子束;离子束刻蚀;光刻 |
电子工业部 | 43 | 离子注入;注入机;离子注入机;半导体;半导体器件 |
中国科学院微电子研究所 | 38 | 光刻;掩模;X射线光刻;电子束曝光;电子束 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 33 | 光刻;光栅;传感;多层膜;刻蚀 |
山东大学 | 29 | 电子束;电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;电子束光刻 |
山东工业大学 | 29 | 电子束曝光;电子束曝光机;曝光机;电路;电子束 |
主题名称 | 发文量 | 相关发文学者 |
光刻 | 152 | 姚汉民;冯伯儒;李艳秋;谢常青;胡松 |
离子注入 | 105 | 张通和;杨建华;颜亨迪;张荟星;陈林 |
电子束曝光 | 78 | 顾文琪;陈宝钦;张福安;陈振生;薛虹 |
刻蚀 | 75 | 徐向东;蔡炳初;田扬超;朱效立;丁桂甫 |
半导体 | 72 | 郭华聪;覃志国;张鹏飞;程仲元;颜亨迪 |
电路 | 67 | 姚汉民;冯伯儒;郭华聪;覃志国;陈旭南 |
微细 | 65 | 王振龙;赵万生;俞学东;王学超;伊福廷 |
集成电路 | 61 | 姚汉民;冯伯儒;郭华聪;覃志国;陈旭南 |
微细加工 | 59 | 俞学东;王学超;伊福廷;毕建华;周光亚 |
曝光机 | 56 | 陈振生;顾文琪;魏守水;张福安;薛虹 |
资助项目 | 涉及文献 |
国家自然科学基金 | 249 |
国家高技术研究发展计划 | 65 |
国家重点基础研究发展计划 | 54 |
国家重点实验室开放基金 | 20 |
国家教育部博士点基金 | 18 |
中国科学院知识创新工程 | 15 |
山东省自然科学基金 | 11 |
中国博士后科学基金 | 10 |
上海市自然科学基金 | 8 |
山东省科技攻关计划 | 7 |
资助课题 | 涉及文献 |
山东省自然科学基金(Y2003G03) | 7 |
国家自然科学基金(90307003) | 7 |
国家重点基础研究发展计划(2003CB716204) | 7 |
国家自然科学基金(60236010) | 4 |
国家自然科学基金(90201025) | 4 |
国家自然科学基金(90301002) | 4 |
国家自然科学基金(60376020) | 4 |
国家重点基础研究发展计划(2005CB724305) | 3 |
国家高技术研究发展计划(2006AA03Z355) | 3 |
国家自然科学基金(50390064) | 3 |
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